(optical proximity correction) Ein Verfahren, das optische Randeffekte eliminiert und mit dessen Hilfe sich Strukturen abbilden lassen, die kleiner sind als das verwendete Licht. S.a. Phasendrehungsmaske.
(optical proximity correction) Ein Verfahren, das optische Randeffekte eliminiert und mit dessen Hilfe sich Strukturen abbilden lassen, die kleiner sind als das verwendete Licht. S.a. Phasendrehungsmaske.